구조
촉침의 움직임을 직선 방향으로 직접 검출
직동식 검출기는 촉침과 센서가 동기화되어 수직 방향으로 움직입니다. 회전 지점이나 레버 구조를 거치지 않기 때문에 원호 운동에 따른 형상 왜곡을 억제할 수 있습니다.
또한 레버식 구조에서 발생할 수 있는 지점의 유격, 외력에 의한 레버 휨, 자중에 따른 변형의 영향을 줄이는 방향으로 설계되어 있습니다.
직선 이동촉침이 수직 방향으로 움직여 원호 운동에 의한 기하학적 왜곡을 줄입니다.
재현성촉침과 센서가 같은 축에서 동기화되어 반복 측정의 안정성을 확보합니다.
미세 측정력 대응ET 계열 일부 모델은 매우 낮은 측정력 설정을 지원해 연질 시료와 미세 형상 측정에 대응합니다.
적용
단차·막두께뿐 아니라 표면과 형상 측정에도 활용
ET Series는 미세단차와 막두께를 중심으로 표면거칠기, 파상도, 휨과 형상 평가 등 다양한 프로파일 측정에 활용할 수 있습니다. 측정 대상과 필요한 재현성, 측정력에 따라 ET200A와 ET4000A 계열 등에서 적합한 구성을 검토합니다.